1.去除表面瑕疵,提升加工精度
光学玻璃加工:在晶圆研磨和光学元件制造中,绿碳化硅能实现纳米级表面平整度,确保玻璃制品的高透明度和低散射率。
半导体材料处理:用于单晶硅和多晶硅棒的切片及精密研磨,可减少材料损耗并提高切割效率,满足集成电路制造的严苛要求。

2.均匀粒度分布,保障抛光一致性
金属精密加工:如钛合金、不锈钢等材料的磨削和抛光,能显著降低表面粗糙度,减少后续加工工序。
3.优异热稳定性,适应高温环境
晶圆研磨:在高温条件下保持研磨区域温度稳定,避免硅片因局部过热导致翘曲或裂纹。
高温炉窑构件:绿碳化硅作为耐火材料用于冶炼炉内衬,可承受1600℃以上高温,延长设备使用寿命。
4.强耐化学性,保障复杂环境稳定性
化学机械抛光:在硅片抛光液中,绿碳化硅磨料不会与化学试剂反应,确保抛光过程的稳定性和重复性。
陶瓷表面处理:可抵抗陶瓷釉料中的碱性成分侵蚀,保持磨料性能不变。